无尘室工程的保洁工作很重要，为了保证无尘室室内清洁，无尘室工程总结了四大原则。
一、 不带入原则
1、 室内保持正压。
2、 建物要紧密，HPEA及框架没有泄漏。
3、 作业人员须依规定更衣经浴尘室再进入洁净室。
4、 机器.材料.工具.须经清洁方可进入洁净室。
5、 非必要之物品禁止携入。
二、 不堆积原则
1、 不造成不易清扫的死角，机器外围要易于清除。
2、 风管及配置要避免露于室内。
3、 有计画有基准的实施清扫的工作。
三、不产生原则
1、 洁无尘室内装材料的适当选用。
2、 制程设备的发尘抑制。
3、 生产自动化及人员不聚集.动作放轻。
4、 无尘衣及洁净室-器具的使用及管理。
四、 排除原则
1、 换气次数须足够符合规定。
2、 污染源须有排气设备直接吸除。
3、 施工后须马上清洁。
4、 气流的形成要设计得当，防止尘埃附着在产品上。
